Micro - Electro - Mechanical Systems - MEMS - wafers miniatyriserade mekaniska och elektromekaniska elementen ? . De består av miniatyriserade strukturer , sensorer, ställdon och mikroelektronik . Enheterna kan omvandla energi från en form till en annan , till exempel konvertera en uppmätt mekanisk signal till en elektrisk signal . Använder
wafers
MEMS används i många typer av elektroniska enheter, inklusive sensorer , skrivhuvuden och mikro - reaktorer . De är också ofta används i trycksensorer , tröga måttenheter , DNA-analyser och implanterbara sensorer . Skapas på silikon eller wafers glas
Material
MEMS wafers . Särskilda glastyper , inklusive alkali - fri glas , låg alkali glas , mycket transparent specialiserade glas och hög renhet syntetiskt kvartsglas är tillgängliga för specialiserade applikationer .
Storlekar
MEMS wafers varierar i storlek från en mikron till flera millimeter . Grundläggande storlekar är 4 , 6 och 8 inches med en tjocklek av mellan 0,05 och 2 mm . De små ställdon utför mekaniska bedrifter långt större än deras storlek skulle innebära .
Framtiden för MEMS-teknik
Med ytterligare utveckling av MEMS-teknik , kan det vara möjligt för dessa miniatyriserade sensorer, ställdon och strukturer som ska slås samman till en gemensam kiselsubstrat tillsammans med integrerade kretsar . Detta kommer att kombinera hjärnan hos kretsen med beslutande kapacitet MEMS .
